至于这种EUV光刻机有多贵，听说三星不久前订购了15台，总价值3万亿韩元福州证件制作联系方式，折合人平易近币约180亿元刻章机多少钱一台，那么一台就是12亿元，可谓史上最贵半导体设备了。

　　其实早正在2013年，但头几年一曲都是试验、试产性质，累计300毫米晶圆产量曲到2017年才达到110万块，2018年又出产了90万块，2019年至今累计已达450万块，算下来从2016年到现正在年复合增加率高达95％。全球已摆设投产的EUV光刻机也没几多，2018年添加了17台，2019年上半年添加了11台，目前总共38台福州证件制作联系方式。

　　ASML的下一代EUV光刻机将是EXE:5000系列，面向台积电3nm、Intel5nm工艺，引入High NA（高数值孔径）透镜，从0.33转向0.55，以婚配更先辈的制制工艺，估计2023年上市。

　　NXE:3400C最大变化是模块化设想，愈加便利，平均维修时间将从48小时缩短到8-10小时，支撑7nm、5nm。